溅射离子镀.ppt
摘要： 薄膜封装的概念? 薄膜定义? 利用特殊的技术手段, 人为制得的、其一维尺度显著小于另外两 维尺度的、具有特定性能与用途的材料? 按厚度可以分为厚膜与薄膜? 厚膜：几微米至几百微米 ? 薄膜：几微米以下? 薄膜封装的功能：? 电气连接 ? 元件搭载 ? 表面改性 ? 特殊功能1薄膜材料的应用? 耐磨、防腐与装饰涂层 ? 光学涂层 ? 光电薄膜 ? 微电子技术 ? 磁存储技术 ? 微机电系统 ……2耐...
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