真空获得设备原理与技术基础(张以忱).ppt

摘要: 东北大学第九期《真空技术》培训班真空获得设备原理 及技术基础主讲人:张以忱经作者授权,版权所有归东北大学真空与流体工程研究中心与原作者共有。未经本中心及原著者同意, 任何人或任何单位不得私自拷贝、刻录、传播、转载本讲义,或用于商业用途。东北大学第九期《真空技术》培训系列之? 一. 真空技术概况 (巴德纯) ? 二. 真空工程理论基础 (孙丽娜) ? 三. 干式真空泵原理与技术基础 (巴德纯) ?...
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