0.16μm+DRAM中次大气压硼磷硅玻璃工艺的优化研究.pdf
摘要： 复旦大学 硕士学位论文 0.16μm DRAM另次大气压硼磷硅玻璃工艺的优化研究 姓名：张苗 申请学位级别：硕士 专业：电子与通信工程 指导教师：郑国祥；龚大伟20090320复旦大学工程硕士学位论文摘要随着动态随机存储器（简称ＤＲＡＭ）设计水平的不断发展，器件的尺寸越来越 小，这对半导体制造技术不断提出新的挑战。到深亚微米级尺寸以后，使用常压化 学气相沉积（简称ＡＰｃＶＤ）和等离子体增强化学气相...
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