CMOS工艺基本流程.pdf
摘要： CMOS工艺CMOS，全称Complementary Metal Oxide Semiconductor，即互补金属氧化物半导体，是一种 大规模应用于集成电路芯片制造的原料。采用CMOS 技术可以将成对的金属氧化物半导体场效应晶体管（ MOSFET）集成在一块硅片上。1选择衬底--------基础Silicon Epi Layer P 晶圆的选择~2um – 掺杂类型（N或P）– 电阻率（掺杂...
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