半导体废气制程排放.doc
摘要： 半導體廠製程排氣系統魏振翼, 彭淑惠, 胡石政 摘要新竹新學園區的設立，帶動了台灣的經濟發展，但也造成了環境方面的 污染，半導體業在製造過程中，無可避免地必須使用不同種類的化學物質，為了提高產品的良率，必須精密控制產品所接觸之環境的空氣品質。而製程排氣系統（Exhaust System），雖非製程生產所需設備，但卻是為生產區域營 造一個可供生產人員在安全無虞情況下的工作環境，因此製程排氣系統，從廢...
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