《精品》-多晶硅生产工艺学.doc
摘要： 多晶硅生产工艺学第 1 页 共 73 页绪论一、硅材料的发展概况 半导体材料是电子技术的基础，早在十九世纪末，人们就发现了半导体材料，而真正实用还是从二十世纪四十年代开始的， 五十年代以后锗为主，由于锗晶体管大量生产、应用，促进了半 导体工业的出现，到了六十年代，硅成为主要应用的半导体材料， 到七十年代随着激光、发光、微波、红外技术的发展，一些化合 物半导体和混晶半导体材料：如砷化镓、硫化镉、碳化...
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