电子枪和离子源.pdf
摘要： 电子枪和离子源西安交通大学 康永锋提纲n 聚焦细束电子枪概述?电子枪是所有电子光学仪器、装置和器件的必要部件，其作用是形成具有一定的 电子能量的聚焦电子束。 ?这一电子束有时用作为电子图像仪器的“照明”电子源，而有时用作为一个“点源” 形成细聚焦电子束探针。 ?聚焦细束电子（离子）枪，主要涉及加速电位较高，并具有高分辨率的电子光学 系统的电子枪。 ?通常其（电子或离子）束电流不是很大，空间电荷不起...
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