多晶硅生产工艺流程.docx
摘要： 多晶硅生产工艺流程(简介)-------------------------来自于网络收集多晶硅生产工艺流程,多晶硅最主要的工艺包括，三氯氢硅合成、四 氯化硅的热氢化（有的采用氯氢化），精馏，还原，尾气回收，还有 一些小的主项，制氢、氯化氢合成、废气废液的处理、硅棒的整理 等等。 主要反应包括：Si+HCl---SiHCl3+H2（三氯氢硅合 成）;SiCl4+H2---SiHCl3+HCl（热氢...
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