半导体薄膜技术与物理复习讲解.doc
摘要： 第一章 真空技术 1、真空的定义：真空是指在给定的空间内压力低于一个大气压的稀薄气体 状态。 2、真空度：通常用压强为单位来描述“真空”状态下的气体稀薄程度—— 真空度。（压强高则真空度低，压强低则真空度高） 3、真空度单位： 毫米汞柱（mmHg） 托（Torr） 帕斯卡（Pa） 巴（bar） 单位之间的换算：1 Pa =1 牛顿/米 2=1 千克/米*秒 2=10 达因/cm2=0.0075 T...
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